半導体関連機器 無塵環境製品 無塵環境関連機器
●粒径間差分・合計粒子個数濃度・概算質量濃度を同時に測定し表示および出力可能です。
●モデル:本体
●計測粒径範囲:0.5〜25.0μm
●★入数:1台
●光源:半導体レーザー
●チャンネル数:6段階(可変)
●出荷時粒径:0.5・0.7・1.0・2.5・5.0・10.0以上μm
●計数効率:0.3μm/50%±20%、0.45μm/100%±10%
●最大粒子個数濃度:45000(パーティクルデータ及び温湿度データ含む)
●吸引流量:0.1CFM(流量自動調整)
●計測データ記憶:45000(パーティクルデータ及び温湿度データ含む)
●サイズ:254×290×140mm(ハンドル部含む、プローブ部除く)
●電源:充電式リチウムイオン電池・ACアダプター(AC100-240V 50/60Hz)
●規格:ISO21501-4、JIS B9921
●付属品:等速プローブ、パージフィルター、USBケーブル、リチウムイオン電池、ACアダプター、検査成績書、英文校正証明書、トレサビリティー体系図、温湿度センサー