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※ こちらの画像は代表画像となります。部品や類似品等の場合があります。型番と商品名をご確認下さい。 【特徴】 一度に大量の小口径ウェハーを効率的に洗浄可能です。 ●小口径ウェハーの洗浄・乾燥用途に適しています。 ●ビーカー等の容器で簡単に洗浄できる円盤形状です。 【仕様】 材質:PFA(フッ素樹脂) ●適用ウェハー径(φmm):20〜27 ●収納数:24枚 ●溝ピッチ:15° ●サイズ(mm):φ86×21 ●型番:小